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四点探针

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四点探针

四点探针

可调节高度四点探针

多高度探针用于测量各种材料和样品尺寸。由25厘米宽、29厘米深、0.8厘米厚的硬质阳极氧化铝底座组成。一根直径为19mm、高度为20cm的不锈钢柱(用螺丝固定在底座上)支撑探头的升降机构,包括垂直滑动、操作杆轴和微型开关。垂直滑动带着探头,由夹紧螺钉固定。探针头的位置应确保在探针接触之前,微动开关不会通过电流。丢失动作确保在探头升起之前切断电流。探针臂可以很容易地定位在垂直轴上的不同高度,以允许对扁平材料或大或厚材料进行探测。例如,可以将热夹头或含有ln2的浅盘放置在底板上,并且可以将臂放置在允许将探针降低到浸没在液氮中或放置在加热阶段的样品上的位置。多高度探针可用于测量10x 10〃以下的晶片或更大的材料(或具有相同价格的12x 12〃工作区)、钢锭和高达6〃的材料。更长的柱选项允许测量更高的材料。多高度探头包括一个圆柱形探头头。

圆柱形探头

圆柱形探头,其中一个与多高度探头一起提供,在标准配置下,可承受77K120C的温度。对圆柱形探头的修改将使其能够承受77K200C的温度(在烤箱中)。多高度探头保守地限制在80摄氏度,但是,如果采取了某些预防措施,使用热板可使温度达到300摄氏度。圆柱探头的质量和精度都达到了很高的标准。

控制器是专门为四点探针测量而设计的一种专用电子仪器。它具有精度高、范围广和许多简化四点探测测量的特点。以下是该试验装置的特点:

控制器的面电阻范围为1毫欧/平方(10^-3)到5 x 10^8欧姆/平方,精度为0.3%。体积电阻率范围是从1毫欧姆厘米(10^-3)到10^6欧姆厘米,然而,该电阻率范围是指直接测量大块材料,而不是测量薄膜并使用软件转换为体积电阻率。例如,可以测量厚度达16微米的薄层铜(1.68 x 10^-6 ohm-cm)。如果进入膜厚,控制器可以确定体积电阻率值。

控制器包括PC控制软件,可用于测量记录(以csv格式存储数据),并可将测量值保存为板电阻或体积电阻率。

显示器读取输入电流以及每平方欧姆(片电阻)、欧姆厘米(体积电阻)或毫伏,无需使用随附的PC软件。体积电阻率读数需要输入晶片或薄膜的厚度,或者如果测量大块样品,则需要输入尖端间距。

控制器具有板载非易失性存储器,因此可以在内部存储多达50个测量值,然后使用软件一次下载并保存所有测量值。或者,每个测量值都可以保存到PC上,因为它是使用随附的软件进行的。

控制器有一个自动范围按钮,可用于自动确定给定材料的最佳输入电流,而无需使用试错法。

并具有前进(FWD)和后退(REV)按钮,可反转电流方向。确定测量值是否有效的一种常见方法是反转电流方向,然后检查正向和反向电压读数是否关联良好,即,数值应相似,但反向电流电压为负值。

允许输入需要根据尺寸校正的样本的校正系数。

具有日期和时间戳功能

与可选的AFPP电动Z运动臂连接

优越的电流源

10na100ma99.999ma)电流源可选输入

可调节高度四点探针

多高度探针用于测量各种材料和样品尺寸。由25厘米宽、29厘米深、0.8厘米厚的硬质阳极氧化铝底座组成。一根直径为19mm、高度为20cm的不锈钢柱(用螺丝固定在底座上)支撑探头的升降机构,包括垂直滑动、操作杆轴和微型开关。垂直滑动带着探头,由夹紧螺钉固定。探针头的位置应确保在探针接触之前,微动开关不会通过电流。丢失动作确保在探头升起之前切断电流。探针臂可以很容易地定位在垂直轴上的不同高度,以允许对扁平材料或大或厚材料进行探测。例如,可以将热夹头或含有ln2的浅盘放置在底板上,并且可以将臂放置在允许将探针降低到浸没在液氮中或放置在加热阶段的样品上的位置。多高度探针可用于测量10x 10〃以下的晶片或更大的材料(或具有相同价格的12x 12〃工作区)、钢锭和高达6〃的材料。更长的柱选项允许测量更高的材料。多高度探头包括一个圆柱形探头头。

圆柱形探头

圆柱形探头,其中一个与多高度探头一起提供,在标准配置下,可承受77K120C的温度。对圆柱形探头的修改将使其能够承受77K200C的温度(在烤箱中)。多高度探头保守地限制在80摄氏度,但是,如果采取了某些预防措施,使用热板可使温度达到300摄氏度。圆柱探头的质量和精度都达到了很高的标准。

控制器是专门为四点探针测量而设计的一种专用电子仪器。它具有精度高、范围广和许多简化四点探测测量的特点。以下是该试验装置的特点:

控制器的面电阻范围为1毫欧/平方(10^-3)到5 x 10^8欧姆/平方,精度为0.3%。体积电阻率范围是从1毫欧姆厘米(10^-3)到10^6欧姆厘米,然而,该电阻率范围是指直接测量大块材料,而不是测量薄膜并使用软件转换为体积电阻率。例如,可以测量厚度达16微米的薄层铜(1.68 x 10^-6 ohm-cm)。如果进入膜厚,控制器可以确定体积电阻率值。

控制器包括PC控制软件,可用于测量记录(以csv格式存储数据),并可将测量值保存为板电阻或体积电阻率。

显示器读取输入电流以及每平方欧姆(片电阻)、欧姆厘米(体积电阻)或毫伏,无需使用随附的PC软件。体积电阻率读数需要输入晶片或薄膜的厚度,或者如果测量大块样品,则需要输入尖端间距。

控制器具有板载非易失性存储器,因此可以在内部存储多达50个测量值,然后使用软件一次下载并保存所有测量值。或者,每个测量值都可以保存到PC上,因为它是使用随附的软件进行的。

控制器有一个自动范围按钮,可用于自动确定给定材料的最佳输入电流,而无需使用试错法。

并具有前进(FWD)和后退(REV)按钮,可反转电流方向。确定测量值是否有效的一种常见方法是反转电流方向,然后检查正向和反向电压读数是否关联良好,即,数值应相似,但反向电流电压为负值。

允许输入需要根据尺寸校正的样本的校正系数。

具有日期和时间戳功能

与可选的AFPP电动Z运动臂连接

优越的电流源

10na100ma99.999ma)电流源可选输入